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教育・研究業績
畝田 道雄(ウネダ ミチオ/UNEDA Michio)

業績区分 学術雑誌論文 − 学会誌・専門誌学術論文(フルペーパー)

タイトル 日本語  
英語 Highly efficient chemical mechanical polishing method for SiC substrates using enhanced slurry containing bubbles of ozone gas
著者 共著

 氏名役割
1日本語畝田 道雄 
英語UNEDA Michio 
2日本語  
英語Koji Fujii 

 
誌名 日本語  
英語 Precision Engineering
  Vol.64, pp.91 - 97
出版者 日本語  
英語 Elsevier Inc.
出版年月 2020年 04月
研究範囲 開発的研究
査読の有無 厳格な査読
招待の有無 通常論文
記述言語 英語
掲載区分 海外
掲載種別 研究論文(学術雑誌)
ISSN  
ID:DOI  
ID:NAID(CiNiiのID)  
ID:PMID  
Permalink  
URL  
概要 日本語  
英語  
キーワード 日本語 英語