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教育・研究業績
畝田 道雄(ウネダ ミチオ/UNEDA Michio)

タイトル プレゼン資料 業績区分 年月
両面同時研磨におけるAIによるIn-situ基板厚み予測手法の開発   会議発表論文 − 専門別学協会講演会、研究会、シンポジウム・ワークショップ 2020 
ニューラルネットワークを用いたAI研磨装置の開発研究 −HPMJを用いた研磨パッドコンディショニングプロセスのAIによる学習と運用−   会議発表論文 − 専門別学協会講演会、研究会、シンポジウム・ワークショップ 2020 
曲面並びに溝を有する工作物に対する小径研磨工具の挙動評価−バフ研磨法と磁気研磨法の同一条件下での比較−   学術雑誌論文 − 学会誌・専門誌学術論文(フルペーパー) 2020/06 
Highly efficient chemical mechanical polishing method for SiC substrates using enhanced slurry containing bubbles of ozone gas   学術雑誌論文 − 学会誌・専門誌学術論文(フルペーパー) 2020/04 
スウェードパッドによるガラス基板の研磨特性の研究−スウェードパッド表面性状が研磨速度とその安定性に与える影響−   学術雑誌論文 − 学会誌・専門誌学術論文(フルペーパー) 2020/03 
日本刀の形状美と機能美に着目した「踏ん張り」と「樋」の科学的研究   会議発表論文 − 専門別学協会講演会、研究会、シンポジウム・ワークショップ 2020/03 
研磨界面の見える化による3D研磨のメカニズム解明   会議発表論文 − 専門別学協会講演会、研究会、シンポジウム・ワークショップ 2020/03 
CMPにおけるスラリー中の砥粒の動的挙動解明とその考察   会議発表論文 − 専門別学協会講演会、研究会、シンポジウム・ワークショップ 2020/03 
ニューラルネットワークを用いたAIによる知能研磨システムの提案   学術雑誌論文 − 学会誌・専門誌学術論文(フルペーパー) 2020/01 
両面同時研磨の研磨レートに及ぼすキャリアの影響   会議発表論文 − 会議録・シンポジウム論文、学協会講演会、研究会 2019 
新作日本刀の評価・設計法の研究 −現代刀の審査結果と刀職技術の科学に基づく新作日本刀の設計アプローチ−   会議発表論文 − 会議録・シンポジウム論文、学協会講演会、研究会 2019 
ダイヤモンドシートを用いたガラス基板の固定砥粒研磨の研究 −クーラント種による研磨レートの評価とその影響分析−   学術雑誌論文 − 学会誌・専門誌学術論文(フルペーパー) 2019/10 
両面同時研磨におけるキャリアと摩擦係数並びに研磨レートの関係−キャリアが上下研磨パッドと基板相互間の摩擦係数に及ぼす影響および摩擦係数と研磨レートの相関−   学術雑誌論文 − 学会誌・専門誌学術論文(フルペーパー) 2019/09 
  その他 − 論文賞、研究業績・功労賞 2019/09 
  その他 − 論文賞、研究業績・功労賞 2019/09 
「匠の技」の科学を通じた総合力育成教育(第2報)   会議発表論文 − 会議録・シンポジウム論文、学協会講演会、研究会 2019/09 
オゾンガスバブルスラリーによるSiC基板の高能率研磨加工法の研究   会議発表論文 − 会議録・シンポジウム論文、学協会講演会、研究会 2019/09 
CMPにおけるスラリー中の砥粒の動的挙動解明とその考察   会議発表論文 − 会議録・シンポジウム論文、学協会講演会、研究会 2019/09 
Novel Pad Conditioning Technology by Ceramics Flexible Fiber Conditioner   会議発表論文 − 国際会議録(プロシーディング) 2019/09 
Development of Intelligent Polishing System by Artificial Intelligence using Neural Network and Its Application   会議発表論文 − 国際会議録(プロシーディング) 2019/09 

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